TOPOS Interferometriska Mätssystem
TOPOS Interferometriska mätssystem för kontaktfri planhetskontroll av finbearbetade precisiondelar
TOPOS interferometrar arbetar enligt principen för sned ljusinfalls, vilket gör att planheten hos även grovare delar, som inte längre visar ett streckmönster med plan glas eller Fizeau-interferometer, kan mätas. Från interferensmönstret bestäms planheten hos en del av en dator. Förutom slipade eller fint slipade delar kan även polerade delar mätas. Delarna kan bestå av olika material:
- Metall (stål, aluminium, brons, koppar, etc.)
- Keramik (AL2O3, SiC, SiN, etc.)
- Plast
- etc.
Interferometrarna kan placeras i produktionen nära bearbetningsmaskinen. Den absoluta noggrannheten är upp till 0,1 µm över hela mätfältet.